KLAテンコールの業績推移：売上高･営業利益率･財務の推移

KLA Tencor Corporationの連結決算：通年の売上推移

平均利益率

会社の動向

• 1997年5月、KLA社とTencor社の合併により誕生。
• 半導体の製造工程における欠陥検査装置･計測装置などの開発･販売が中核事業。
• 2009年～2010年頃の売上高の低下は、リーマンショックやギリシャ危機による市況悪化が原因。
• 2016年頃まで売上高規模が停滞。この時期はEUV露光装置が登場する前、つまり微細化の進展に不安を抱えていた時期で、業界は将来性に不安を抱えていた時期。
• 2017年以降に売上高が急上昇しているのは、EUV露光による微細化が進展したことで、主にパーティクル検査装置(ゴミ･チリの検査装置)の売上が上昇した事による。
• また、中国の半導体市場が急拡大したことも2017年以降の売上増につながっている。
• 2019年7月にKLAテンコールからKLA(コーポレーション)に社名変更。

地域別の売上成績

• 近年は半導体産業の国産化を目指す中国の売上成長率が高い。
• 日本向けはラピダスの成長と共にKLAの販売額も大きくなっていく見込み。

製品ポートフォリオ

半導体を製造するには様々な製造装置が必要。以下は、前工程装置、検査装置、後工程装置の市場シェア。

その中でKLAテンコールは「パーティクル検査装置」「欠陥検査装置」「マスク検査装置」などの検査装置に強い。日本企業で検査装置に強いのが、レーザーテックや日立ハイテクなど。

• パーティクル検査装置……市場規模が70億ドル～80億ドルほど(2021年時点)。製造工場内の目に見えないレベルの細かなゴミ･チリ･ホコリを検査する装置でKLAが業界トップシェア。なお、日本企業でいえば日立ハイテクがこの分野のシェアを約10%もつ。
• 欠陥検査装置……市場規模は20億ドルほど。テスト工程において、ウェーハ上の異物やパターン欠陥を検出する装置。KLAがシェア70%近くもつ。なお、日本メーカーではシェア10%ほどを日立ハイテクがもつ。
• マスク検査装置……市場規模は10億ドルほど。マスクに形成された回路パターンが正常かどうかを測定検査するのがマスク検査装置。回路パターンの欠陥、サイズ精度、位置の精度、サイズが設計とズレがないかどうかなどを計測。日本のレーザーテックが追い上げている分野。(レーザーテックはEUV分野で独占状態)。

EUV関連は開発が遅れる

EUV露光装置を使用した分野においては、KLAテンコールは開発に遅れをとっている。

KLAはマスク検査装置に強いが、EUV向けの「EUVマスクブランクス欠陥検査装置」「EUVマスク検査装置」では日本のレーザーテック社がほぼ独占状態。(2023年時点)

レーザーテックの装置は先行しただけあって事実上の業界標準となったので、今後も慣性的な地位が続くことになる。KLAはEUV分野ではレーザーテックのシェアを奪うのは簡単ではない。

微細化が進展するほど重要

ロジック半導体の最先端微細化プロセスは、5nm→4nm→3nm→2nmと進展するとされる。1nm(ナノメートル)は1メートルの10億分の1。その超微細加工で重要になるのが以下。

• ナノメートルレベルの製造加工を邪魔するゴミ・異物の徹底排除。
• パターンが正常に形成されているかどうかの検査。
• 問題があれば、どういった問題があるか。パターンの欠けや設計値からどれくらいのズレがあるかなど。

最先端微細加工では工程一つ一つの品質管理が重要となるため、必然的に検査工程が重要となる。つまり、半導体の微細化が進めば進むほど、KLAの出番が多くなる。しかし、微細化が止まってしまうと成長が止まってしまう問題がある。

装置メーカーランキング

• 2021年時点の製造装置メーカーの売上規模ランキングでは、KLAテンコールは5位にランクイン。業界では存在感あり。
• なお、15社中7社が日本企業。日本トップは東京エレクトロン。KLAテンコールの競合である日立ハイテクは12位。マスク検査装置でKLAのライバルとなるレーザーテック(日本)は15社に入っていない。
• 日本勢はニッチ分野に強み。ロングテイルは日本企業だらけ。

KLA Tencor Corporationの財政･経営状況

• 自社株買いなどの「株主還元」を積極的に行うのがKLAコーポレーションの特徴。
• 2019年は10.62億ドル(日本円で約1270億円)ほどの「自社株買い」をしているが、その年の純利益が11.75億ドル(日本円で約1400億円)なので、KLAは会社に残るお金のほとんどを株主還元。
• アメリカでは財務の健全性よりも、稼いだ利益の株主還元を優先する意識が強い。

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